ASML官宣5nm第一代HMI多光束检测机 HMI eScan1000：吞吐量将进步达600%
来源：乐鱼体育官网登录 发布时间：2023-10-05 20:48:37
近来， 荷兰ASML公司在官网官宣，完成了5nm及更先进工艺的第一代HMI多光束检测机HMI eScan1000的测验。
据了解，此次HMI eScan1000的结束，在性能上的进步是可以一起发生、操控九道电子束，与单个电子束查看东西比较，将使吞吐量进步达600%，大幅度减少了晶圆质量剖析所消耗的时刻本钱。
新的MBI体系包含一个电子光学体系，可以创建和操控多个初级电子波束，然后搜集和处理发生的次级电子波束，将波束之间的串扰约束在2%以内，并供给共同的成像质量。它还具有进步体系整体吞吐量的高速阶段和实时处理来自多个波束的数据流的高速核算体系结构。
据称，现在首台首台HMI多光束检测机HMI eScan1000检测体系已于本周交给客户进行查验确认，ASML方案添加光束数量和光束分辨率，以满意未来几代芯片制造商的产品路线图要求。
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